抛光研磨垫在化学机械抛光的应用

安吉昌研磨科技有限公司，成立于1997年，集研发、生产、销售于一体，坚持以客户需求为理念，一切让顾客满意为宗旨，锐意进取，持续创新。我们是专注于全球工业表面研磨的一站式解决方案服务商，公司研发生产的产品广泛应用于半导体、汽车、航空、3C电子，汽车，船舶等工业企业，尤其在半导体芯片研磨抛光领域大力投入，研发生产有研磨液、抛光液、切割液、抛光垫、清洗剂等系列产品，为半导体芯片的制造提供了可靠的基础耗材及服务解决方案。

- 使团聚液或抛光液有效均匀分布至整个加工区域，且提供添加循环环境；

- 从工件抛光表面除去抛光过程产生的残留物（如抛光碎屑、抛光碎片等）；

- 传递材料去除所需的机械载荷；

- 维持抛光过程所需的机械和化学环境。

 

 

目前，市场上常用的抛光研磨垫的材质主要有聚氨酯、无纺布和阻尼布。

 

聚氨酯垫：使用聚氨酯树脂作为基材，具有较高的硬度、耐磨性和刚度，适用于对平坦度要求较高的研磨工艺，如浅沟槽隔离、金属互连等。

 

蜂窝垫：使用聚合物泡沫作为基材，具有蜂窝状的表面结构，适用于对平坦度和去除率要求较高的研磨工艺，优点是研磨效率高、团聚液利用率高、研磨压力低、热传导性好等。

 

安吉昌蜂窝垫

表面由许多大小相同的蜂窝状孔洞组成，每个孔洞都有一定的深度，形成一个三维的网络结构。蜂窝抛光垫的表面沟槽可以有效地储存和输送液体，提高团聚液和抛光液的利用率和稳定性，同时也有利于去除研磨抛光过程中产生的残留物，减少微划痕的产生。
蜂窝抛光垫的三维网络结构还可以提供较大的接触面积，增加材料的去除率，缩短抛光时间，降低研磨抛光成本。此外，蜂窝抛光垫的热传导性能较好，可以有效地降低抛光过程中的温升，保持研磨抛光垫的尺寸和形状的稳定性，提高研磨抛光的精度和一致性。

 

 

安吉昌聚氨酯皮垫

聚氨酯皮是一种使用聚氨酯树脂作为基材的研磨抛光垫，具有较高的硬度、耐磨性和刚度，适用于对平坦度要求较高的研磨抛光工艺。聚氨酯皮的特点是具有多孔结构，可以在研磨过程中缓冲团聚液和磨料颗粒的压力，防止过度磨损。这些微孔能起到收集加工去除物、传送团聚液以及保证化学腐蚀等作用，有利于提高研磨均匀性，孔尺寸越大其运输能力越强。

 

 

安吉昌是专注于全球工业表面精细研磨的一站式解决方案服务商，公司研发生产的产品广泛应用于半导体晶圆制造中的切割、粗磨、精磨、粗抛、精抛等领域，生产有团聚液、单晶液、抛光液、切割液、抛光垫、清洗剂等系列产品，为半导体碳化硅衬底的制造提供了良好的基础耗材及服务解决方案。